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云南经济管理学院(1)

资源类型

图书(1)

书目库

中文图书(1)

主题

大规模集成电路(1)

出版社

清华大学出版社(1)

出版时间

2018(1)

等离子体蚀刻及其在大规模集成电路制造中的应用

— 张海洋等编著

索书号：TN405.98/1

标准编码： 978-7-302-48959-7

出版信息：北京清华大学出版社 2018

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