书目详细信息
： 半导体制造技术
书目信息 机读格式(MARC)
| ISBN/价格： | 978-7-121-08944-2:CNY59.00 |
|---|---|
| 作品语种： | chi eng |
| 出版国别： | CN 110000 |
| 题名责任者项： | 半导体制造技术/.(美)Michael Quirk，(美)Julian Serda著/.韩郑生等译 |
| 出版发行项： | 北京:,电子工业出版社:,2009 |
| 载体形态项： | 14,600页:;+图:;+26cm |
| 一般附注： | 国外电子与通信教材系列 |
| 提要文摘： | 全书共分二十章，内容包括：半导体产业介绍、半导体材料特性、器件技术、硅和硅片制备、半导体制造中的化学品、硅片制造中的沾污控制等。 |
| 并列题名： | Semiconductor manufacturing technology |
| 题名主题： | 半导体工艺 教材 |
| 题名主题： | 半导体工艺 |
| 中图分类： | TN305 |
| 个人名称等同： | 奎克 (美) (Quirk, Michael) 著 |
| 个人名称等同： | 塞尔达 (美) (Serda, Julian) 著 |
| 个人名称次要： | 韩郑生 译 |
| 记录来源： | CN JGYTSG 20191201 |