书目详细信息
： 动态微机电系统:理论与应用
书目信息 机读格式(MARC)
| ISBN/价格： | 978-7-03-034316-1:CNY80.00 |
|---|---|
| 作品语种： | chi |
| 出版国别： | CN 110000 |
| 题名责任者项： | 动态微机电系统/.何广平[等]编著 |
| 出版发行项： | 北京:,科学出版社:,2012 |
| 载体形态项： | 384页:;+图:;+24cm |
| 提要文摘： | 本书以动态微机电系统(MEMS)主要对象，介绍其相关的功能材料、设计方法、制造工艺以及控制方法。内容包括：动态MEMS主要技术领域的简况；动态MEMS中常用的功能材料及其制备方法；动态MEMS器件的主要设计方法及其发展现状；动态MEMS的制造工艺、常见失效模式及其克服方法；动态MEMS的控制理论基础、控制技术及其发展现状、控制实验方法等方面的论述；典型动态MEMS系统剖析。 |
| 题名主题： | 动态 微电子技术 |
| 题名主题： | 动态 |
| 题名主题： | 微电子技术 |
| 中图分类： | TN4 |
| 个人名称等同： | 何广平 (物理学) 编著 |
| 记录来源： | CN JGYTSG 20191201 |