书目详细信息
： 微电子工艺技术与仿真
书目信息 机读格式(MARC)
| ISBN/价格： | 978-7-5684-0986-5:CNY35.00 |
|---|---|
| 作品语种： | chi |
| 出版国别： | CN 320000 |
| 题名责任者项： | 微电子工艺技术与仿真/.王强主编 |
| 出版发行项： | 镇江:,江苏大学出版社:,2018 |
| 载体形态项： | 166页:;+图:;+26cm |
| 提要文摘： | 本书共8章，从微电子工艺的物理学、晶体学、器件基础开始，根据工艺的复杂程度深入浅出地介绍了晶圆材料的生长于制备、氧化/扩散工艺、光刻工艺、薄膜工艺、等离子工艺、工艺整合和太阳能电池工艺。 |
| 题名主题： | 微电子技术 生产工艺 |
| 中图分类： | TN405 |
| 个人名称等同： | 王强 主编 |
| 记录来源： | CN 布克巴巴 20240813 |