书目详细信息
： 三维集成电路制造技术
书目信息 机读格式(MARC)
| ISBN/价格： | 978-7-121-43902-5:CNY139.00 |
|---|---|
| 作品语种： | chi |
| 出版国别： | CN 110000 |
| 题名责任者项： | 三维集成电路制造技术/.王文武主编 |
| 出版发行项： | 北京:,电子工业出版社:,2022.07 |
| 载体形态项： | 15,360页:;+图:;+24cm |
| 丛编项： | 集成电路系列丛书.集成电路制造 |
| 一般附注： | “十四五”时期国家重点出版物出版专项规划项目 国家出版基金项目 集成电路产业知识赋能工程 |
| 相关题名附注： | 封面英文题名：Manufacturing technology of 3D transistors and ICs |
| 提要文摘： | 本书介绍了三维集成电路制造工艺、FinFET和纳米环栅器件、三维NAND闪存、新型存储器件、三维单片集成、三维封装等关键核心技术。 |
| 并列题名： | Manufacturing technology of 3D transistors and ICs eng |
| 题名主题： | 集成电路工艺 |
| 中图分类： | TN405 |
| 个人名称等同： | 王文武 主编 |
| 记录来源： | CN 云南新华 20220916 |