书目详细信息
： 半导体薄膜技术基础
书目信息 机读格式(MARC)
| ISBN/价格： | 978-7-121-32880-0:CNY49.00 |
|---|---|
| 作品语种： | chi |
| 出版国别： | CN 110000 |
| 题名责任者项： | 半导体薄膜技术基础/.李晓干…[等]编著 |
| 出版发行项： | 北京:,电子工业出版社:,2018 |
| 载体形态项： | 140页:;+图:;+26cm |
| 一般附注： | 普通高等教育“十三五”规划教材 微电子与集成电路设计系列规划教材 |
| 提要文摘： | 本书对当前主要应用的薄膜技术及相关设备进行了深入浅出的介绍,主要包括作为*重要的半导体衬底的硅单晶材料学、薄膜基础知识、PVD技术、CVD技术及其他相关的薄膜加工技术,在对各种技术进行介绍的同时,还对各种技术所应用的设备进行简要介绍。本书提供配套电子课件。 本书作为半导体薄膜技术的入门书籍,既有薄膜技术的基本理论介绍,又提供了大量的设备基本结构知识。 |
| 题名主题： | 半导体薄膜技术 高等学校 教材 |
| 中图分类： | TN304.055 |
| 个人名称等同： | 李晓干 编著 |
| 个人名称等同： | 刘勐 编著 |
| 个人名称等同： | 王奇 编著 |
| 记录来源： | CN 昆明新知图书城 20170517 |