书目详细信息
： 高数值孔径投影光刻物镜的光学设计
书目信息 机读格式(MARC)
| ISBN/价格： | 978-7-5674-1789-2:CNY58.00 |
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| ISBN/价格： | 978-7-5674-1789-2:CNY58.00 |
| 题名： | 高数值孔径投影光刻物镜的光学设计 |
| 作品语种： | chi |
| 作品语种： | chi |
| 出版国别： | CN 230000 |
| 出版国别： | CN 230000 |
| 题名责任者项： | 高数值孔径投影光刻物镜的光学设计/.徐安成著 |
| 题名责任者项： | 高数值孔径投影光刻物镜的光学设计/.徐安成著 |
| 出版发行项： | 哈尔滨:,东北林业大学出版社:,2020 |
| 出版发行项： | 哈尔滨:,东北林业大学出版社:,2020 |
| 载体形态项： | 125页:;+图:;+24cm |
| 载体形态项： | 125页:;+图:;+24cm |
| 提要文摘： | 本书共五章，内容包括：绪论、高数值孔径投影光刻物镜的设计优化、高数值孔径投影光刻物镜的偏振像差研究、高数值孔径投影光刻物镜的像质补偿策略研究、总结与展望。 |
| 提要文摘： | 本书共五章，内容包括：绪论、高数值孔径投影光刻物镜的设计优化、高数值孔径投影光刻物镜的偏振像差研究、高数值孔径投影光刻物镜的像质补偿策略研究、总结与展望。 |
| 题名主题： | 投影光刻物镜 光学设计 |
| 题名主题： | 投影光刻物镜 光学设计 |
| 中图分类： | TH74 |
| 中图分类： | TH74 |
| 个人名称等同： | 徐安成 著 |
| 个人名称等同： | 徐安成 著 |
| 记录来源： | CN ZT 20230305 |
| 记录来源： | CN ZT 20230305 |