书目详细信息
： 硅集成电路芯片工厂设计规范
书目信息 机读格式(MARC)
| ISBN/价格： | 1580177.963:CNY18.00 |
|---|---|
| 作品语种： | chi |
| 出版国别： | CN 110000 |
| 题名责任者项： | 硅集成电路芯片工厂设计规范/.中华人民共和国住房和城乡建设部编著 |
| 出版发行项： | 北京:,北京大学出版社:,2003 |
| 载体形态项： | 305页:;+26cm |
| 提要文摘： | 本书系统地讲述了硅集成电路制造的基础工艺。全书共十章，分别讲述了硅的晶体结构、硅集成电路制造中的单项工艺等内容。 |
| 题名主题： | 硅栅MOS集成电路 高等教育 教材 |
| 中图分类： | TN432 |
| 个人名称等同： | 关旭东 (微电子学) 编著 |
| 电子图书： | http://202.106.125.14/Usp/apabi_usp/pub.mvc?pid=book.detail&metaid=m%2e20061101%2dm011%2dw003%2d029 |
| 电子图书： | http://login.nlc.gov.cn/niMingLogin.action |